1947年12月23日圣诞节前夕,在美国新泽西州贝尔实验室里,3位科学家肖克莱博士、巴丁博士和布菜顿博士正有条不紊地进行着用半导体晶体把声音信号放大的实验。他们惊奇地发现,器件中通过的一部分微弱电流,竟然可以控制另一部分大得多的电流,产生放大效应。当时人们还未意识到,这个器件,就是在科技史上具有划时代意义的成果——晶体管。正是因为这份“献给世界的圣诞节礼物”,3位科学家共同荣获1956年诺贝尔物理学奖。这项神奇的发明究竟是什么呢?晶体管被人们形象地称为“三条腿的魔术师”,是一种三个支点的半导体固体电子元件。像金、银、铜、铁等金属,它们导电性能好,叫做导体。木材、玻璃、陶瓷、云母等不易导电,叫做绝缘体。导电性能介于导体和绝缘体之间的物质,如硅、锗、砷化镓等,就叫半导体。晶体管就是用半导体材料制成的,这类材料常见的便是锗和硅两种。晶体管的体积只有电子管的十分之一到百分之一,放热很少,可用于设计小型、复杂、可靠的电路。晶体管诞生之后,便被地应用于工农业生产、**建设以及人们日常生活中。1953年,首批电池式的晶体管收音机一投放到市场,就受到人们的热烈欢迎。不久。上海海谷电子有限公司致力于提供电子料回收,期待您的来电咨询!北京批量电子物料回收行情
该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图6a至图6b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例,该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图7a至图7b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例,该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图8a至图8b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例,该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图9至图12示出了形成具有存储器电路的集成芯片的方法的一些实施例,该存储器电路包括存储单元,该存储单元包括被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。图13示出了形成具有存储器电路的集成芯片的方法的一些实施例的流程图,该存储器电路包括存储单元,该存储单元包括被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。具体实施方式以下公开内容提供了许多用于实现所提供主题的不同特征的不同实施例或实例。下面描述了组件和布置的具体实例以简化本发明。当然,这些是实例,而不旨在限制本发明。例如,以下描述中,在第二部件上方或者上形成部件可以包括部件和第二部件直接接触形成的实施例。北京批量电子物料回收行情上海海谷电子有限公司为您提供电子料回收,有想法的不要错过哦!
可以使用侧壁间隔件261至266作为第二心轴图案在比抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3低的层中形成具有抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3的1/4平均节距的目标图案。图5至图10是示出应用于集成电路的单元线路结构的示例实施例的示图。为了便于描述,在层中形成的图案dpm、qpm、dpg和qpg附加示出在图5至图10中。图案dpm、qpm、dpg和qpg可以与参照图4a至图4i描述的心轴图案对应,并且可以在中间过程期间被去除以被排除在终集成电路中。在下文中,将参照图5、图6和图7描述通过sadp形成多条列金属线的示例实施例。参照图5、图6和图7,单元线路结构uws1、uws2和uws3中的每个可以包括分别布置在方向x上的六条列金属线ml1至ml6和四条栅极线gl1至gl4。如参照图4a至图4i所述,可以在列导电层ccl上方形成双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3。标签“dpm”可以理解如下:“d”表示双倍,“p”表示图案,“m”表示金属。例如,双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3可以布置为在方向x上具有相同的双倍心轴节距pdm并且双倍心轴节距pdm可以与抗蚀剂图案的节距相同。针对单元线路结构uws1、uws2和uws3中的每个,可以使用三个双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3在列导电层ccl中形成六条列金属线ml1至ml6。
存储器阵列内的存储单元可以在相同的互连层上彼此横向邻近布置。应当理解,图4a至图4b所示的集成芯片400和414可以实现图2的存储器阵列102的集成芯片的两个非限制性实施例,并且可以在可选实施例中使用其它实施方式。在一些实施例中,调节访问装置内的调节mtj器件可以具有相同的尺寸。在其它实施例中,调节访问装置内的调节mtj器件可以具有彼此不同的尺寸和/或与工作mtj器件不同的尺寸。例如,图5a示出了具有调节访问装置的存储器电路500的一些额外实施例的示意图,该调节访问装置包括具有不同尺寸的调节器件。存储器电路500包括多个存储单元502a,1至502c,3,每个存储单元分别包括被配置为存储数据的工作mtj器件106和被配置为选择性地对工作mtj器件106提供访问的调节访问装置108。调节访问装置108包括连接至mtj器件106的同一层的调节mtj器件504和第二调节mtj器件506。调节mtj器件504连接在字线(例如,wl1)和工作mtj器件106之间,而第二调节mtj器件506连接在第二字线(例如,wl2)和工作mtj器件106之间。工作mtj器件106进一步连接至位线(例如,bl1)。图5b示出了对应于图5a的存储器电路500的集成电路的一些实施例的截面图508。如截面图508所示,调节mtj器件504具有尺寸(例如。上海海谷电子有限公司是一家专业提供电子料回收的公司,有想法的可以来电咨询!
图7a至图7b示出了包括存储器电路的集成芯片的一些额外实施例,该存储器电路具有被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。图7a示出了具有以行和列布置的多个存储单元702a,1至702c,3的存储器电路700的一些额外实施例的示意图。多个存储单元702a,1至702c,3分别包括配置为存储数据的工作mtj器件106和配置为选择性地对工作mtj器件106提供访问的调节访问装置108。调节访问装置108包括连接至工作mtj器件106的同一层的调节mtj器件204和第二调节mtj器件206。调节mtj器件204连接在多条字线wl1至wl6的条和多条偏置电压线bvl1至bvl3的条之间。第二调节mtj器件206连接在多条位线bl1至bl6的条和多条偏置电压线bvl1至bvl3的条之间。工作mtj器件106连接在多条偏置电压线bvl1至bvl3的条和多条位线bl1至bl6的第二条之间。在操作期间,位线解码器116被配置为选择性地将信号施加至一条或多条位线bl1至bl6,并且字线解码器118被配置为选择性地将信号施加至一条或多条字线wl1至wl3和一条或多条偏置电压线bvl1至bvl3。施加的信号使得调节mtj器件204内的电流基于提供给存储器阵列102的整个列的电压而产生。上海海谷电子有限公司为您提供电子料回收,有想法的可以来电咨询!北京批量电子物料回收行情
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2v)和第四非零偏置电压v4(例如,4v)之间的差异使得第二电流i2流过第二存储单元202a,2内的调节mtj器件。然而,第二电流i2的两倍小于切换电流isw,因此没有将数据状态写入至第二存储单元202a,2内的工作mtj器件。类似地,连接至字线wl3和wl4的工作mtj器件也不受写入操作的步骤的影响。如图3b的示意图302所示,通过将第二数据状态写入存储器阵列102的行301中的第二存储单元202a,2内的工作mtj器件来实施写入操作的第二步骤。通过将非零偏置电压v1(例如,6v)施加至字线wl1和wl2,将第二非零偏置电压v2(例如,2v)施加至位线bl1和bl3并且将第三偏置电压v3(例如,0v)施加至位线bl2来实施写入操作的第二步骤。非零偏置电压v1(例如,6v)和第三偏置电压v3(例如,0v)之间的差异使得电流i1流过第二存储单元202a,2内的调节mtj器件。电流i1小于切换电流isw,使得第二存储单元202a,2内的调节mtj器件的状态不变。然而,电流i1(其流过第二存储单元202a,2内的工作mtj器件)的两倍大于切换电流isw,以将第二数据状态写入第二存储单元202a,2内的工作mtj器件。存储单元202a,1和第三存储单元202a,3内的工作mtj器件不受写入操作的第二步骤的影响,因为非零偏置电压v1(例如,6v)和第二非零偏置电压v2。北京批量电子物料回收行情
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